高精度MEMS陀螺仪专题分析原理工艺与

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(报告出品方/作者:中邮证券,鲍学博、王煜童)

1MEMS陀螺仪工作原理

1.1用科里奥利力测量角速度

科里奥利力(Coriolisforce)是对旋转体系中进行直线运动的质点由于惯性相对于旋转体系产生的直线运动的偏移的一种描述,科里奥利力来自于物体运动所具有的惯性,是在转动的坐标系里为了解释运动物体由于坐标转动发生偏转的现象而引入的一种虚构的力。MEMS陀螺仪通过科里奥利力来测量角速度,ADI


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